Pumpstände
Gestelle, mobile Einheiten und komplette Plattformen für Vor-, Hoch- und Ultrahochvakuumpumpen.
Entwicklung und Fertigung
Vakuumtechnik
Pumpstände, Kammern, Spezialarmaturen und Messtechnik für industrielle und wissenschaftliche Anwendungen.
Leistungsumfang
Komponenten und komplette Vakuumsysteme
Kundenspezifische Armaturen
Flansche, Adapter, Stutzen und Komponenten passend zur bestehenden Anlage.
PVD-Schichtdickenmonitor
Lösung zur Überwachung des Beschichtungsprozesses und Integration in das Steuerungssystem.
Kammern und Kammerhubsysteme
Individuelle mechanische Konstruktionen für einfachere Bedienung und Wartung.
Pumpstände
Ein komplettes Vakuummodul statt lose verbundener Komponenten
Die Auslegung berücksichtigt Platzbedarf, Vibrationen, Wartungszugang, Kühlung und Schutzautomatik.
- Auswahl von Vor- und Hochvakuumpumpen.
- Anordnung von Ventilen und Messtechnik.
- Gestell, Wagen oder Tisch passend zum Einsatzort.
- Optionaler Schaltschrank und Bedienoberfläche.
Für das konkrete System entwickeltGeometrie, Pumpen, Ventile, Messtechnik und Mobilität.
Messtechnik und Elektronik
Integrierbare Messtechnik
PVD-Monitor und Anzeigen aktiver Messköpfe können in die übergeordnete Steuerung und Prozessaufzeichnung integriert werden.
- Visualisierung aktueller Parameter.
- Aufzeichnung von Prozessdaten.
- Anzeige von Grenzwerten und Alarmzuständen.
- Anpassung von Gehäuse und Bedienoberfläche an den Arbeitsplatz.